Технические характеристики
| Характеристики | Значение |
|---|---|
| Тип клапана |
Угловой клапан для высокого вакуума с электромагнитным управлением Н.З. |
| Рабочая среда |
Вакуум газы неагрессивные по отношению к материалам клапана |
| Рабочее давление |
От 0,1 МПа до 1×10^-6 Па |
| Натекание внутреннее |
1,3×10^-8 Па*м3/с |
| Натекание внешнее |
1,3х10^-11 Па*м3/с |
| Материалы |
Уплотнение - FKM Корпус - алюминиевый сплав Сильфон - нерж.сталь |
| Проводимость |
14 л/с |
| Откачка |
Допустима со стороны любого фланца |
| Присоединительный размер/ДУ |
KF16/10 |
| Датчик |
Бесконтактный электромагнитный датчик (Геркон) 2 шт. |
| Присоединение |
Пилотный порт М5 |