Технические характеристики
| Характеристики | Значение |
|---|---|
| Рабочая среда |
Вакуум газы неагрессивные по отношению к материалам клапана |
| Рабочее давление |
От 0,1 МПа до 1×10^-6 Па |
| Натекание внутреннее |
1,3×10^-8 Па*м3/с |
| Натекание внешнее |
1,3х10^-11 Па*м3/с |
| Материалы |
Уплотнение - FKM Сильфон - нерж.сталь Корпус – 18Х12Н10Т |
| Тип |
Угловой клапан для высокого вакуума с пневматическим управлением Н.З. |
| Проводимость |
14 л/с |
| Присоединительный размер |
KF25 |
| Откачка |
Допустима со стороны любого фланца |
| Датчик |
Бесконтактный электромагнитный датчик «Геркон» 2 шт. |
| Присоединение |
Пилотный порт М5 |