Технические характеристики
| Характеристики | Значение |
|---|---|
| Предельно остаточное давление |
≤4,0×10^-2 Торр |
| Уровень шума |
≤57 Дб |
| Выходной фланец |
KF16 |
| Входной фланец |
KF25 |
| Геометрическое быстродейсвие |
120 л/м (7.2 м³/ч) |
| Вес |
16,2 кг |